本报讯（记者李代姣）日前，中国电科十三所承担的河北省科技厅国际科技合作基地建设专项“高精度单片三轴集成MEMS陀螺联合研发合作示范项目”顺利完成研发任务，研发的高精度单片式三轴MEMS陀螺达到国际领先水平，填补了国内空白，为我国单芯片三轴陀螺的进一步研发和产业化应用奠定了坚实基础。

该项目基于中国电科十三所已有的高精度单轴陀螺技术，与德国弗朗霍夫硅技术研究所开展高精度单片集成三轴陀螺的技术合作和联合开发。通过两年的国际合作和联合开发，该所掌握了高精度三轴陀螺的仿真设计、单片式三轴陀螺的高精度加工工艺、三轴单片集成ASIC电路设计与仿真等关键技术，实现了从单轴MEMS陀螺到单片集成三轴MEMS陀螺的技术突破，研制出国际领先的高精度单片式三轴MEMS陀螺，成功开发出具有国际先进水平的产品样机。该研发成果有效降低了惯性产品体积、重量、功耗和成本，提升了市场核心竞争力。产品批量应用于平台稳定、姿态控制、自动驾驶等领域，满足高端工业等需求，推动了三轴陀螺的产业化进程。