□本报记者 吴新光 通讯员 于丹阳 王杨 张思源

眼下，位于唐山南堡经济开发区的唐山三友集团高端电子化学品产业园项目建设如火如荼，土建施工全部完成，空中管道密布，车间主体设备安装进入扫尾阶段，即将进行试生产。

该项目是河北省重点建设项目，规划32种电子化学品，目前在建的是起步工程，主要建设年产2500吨电子级氯化氢、6000吨电子级氨气、1.5万吨电子级硫酸、6000吨电子级氨水、1万吨电子级异丙醇项目，建成投产后预计年销售收入10亿元。

电子级氯化氢、电子级氨气，这些“气体”为啥高端？里面有啥高科技？

“这个产业园生产的不是一般的气，而是电子行业使用的特种气体。”负责该项目安全生产工作的唐山三友电子化学品有限责任公司副总经理倪志远告诉记者，高端电子化学品产业园项目是唐山三友集团因地制宜发展新质生产力的生动实践，具有高端化、高效化、智能化、绿色化四个特征。

据介绍，电子特气是芯片（集成电路）、显示面板等行业的关键材料，被称为“芯片血液”，光刻、刻蚀、掺杂、薄膜沉积……几乎每一个工艺环节都离不开它，主要起到刻蚀、掺杂、钝化、清洗电路板的作用。小到手机电脑的生产，大到高铁火箭的制造，都有电子特气的影子。

高端电子化学品分电子特气和湿电子化学品，该项目生产的电子级硫酸、电子级氨水、电子级异丙醇就属于湿电子化学品。

国内半导体、芯片（集成电路）行业使用的电子特气、湿电子化学品，80%以上还得依靠进口。近年来，为了解决“卡脖子”难题，抢占市场先机，唐山三友集团转型新赛道，下大力气搞研发，靠“气”打破国外垄断，实现了电子特气和湿电子化学品的“三友制造”。该项目投产后，将进一步加速我国北方电子特气和湿电子化学品的国产化替代进程。

由于半导体和微电子技术向更高性能、更高集成度发展，对电子化学品的纯度提出了越来越高的要求，电子化学品的超纯和超净愈加关键和重要。电子化学品的等级对芯片（集成电路）的性能、集成度和成品率有较大影响。任何一点小小的瑕疵，都会对芯片（集成电路）质量造成影响。

唐山三友集团电子特气和湿电子化学品均达到国内外先进水平，具有工艺流程短、单线生产能力大、能耗低、智能化程度高、杂质含量低等特点。生产设备采用国内外先进的高纯材料，精密超纯过滤滤芯，有效保证了产品的洁净度。

“我们生产的电子级氯化氢等级可达5N5，电子级氨产品等级可达7N。”倪志远解释道，纯度非常高，5N5代表主含量为99.9995%，7N代表主含量为99.99999%。

相对于普通工业级产品，电子级产品纯度更高、附加值也更高。电子级氯化氢的价格可达到普通工业级氯化氢的十倍甚至几十倍。

产业园生产的电子级硫酸，它的杂质金属离子含量小于10ppt（十亿分比浓度），这就是国内外产品级别领先的G5级。

这样超高级别的电子级硫酸有哪些应用？

“芯片在生产过程中会产生油脂、杂质颗粒、有机残留物和碳沉积物，使用电子级硫酸可有效去除，在集成电路板、芯片、晶圆（硅晶片）的清洁方面应用广泛。”倪志远介绍，电子级硫酸（G5等级）主要应用于8、12英寸28纳米制程以下晶圆制造的清洗、刻蚀工艺环节，用于清洗各类金属、有机物和颗粒物，是目前集成电路制造中用量最大的酸性清洗、刻蚀原料之一。可以说没有电子级化学品，就没有芯片。

10月15日，记者在项目建设现场看到， 数个安装好的罐体连通密密麻麻的管道，和精馏塔以及电子特气车间、湿电子化学品车间共同构成项目装置主体。

电子特气车间，电子级氯化氢和电子级氨气，将从这里生产出来。记者在这里碰到了唐山三友电子化学品有限责任公司智控车间主任张新。“依靠大数据驱动，产成品入库出库，均由AGV（自动搬运车）独立完成。液氨等原料通过管道进入电子特气车间，产成品称装完成后，背负式AGV将产成品推给室外重载AGV，然后运到立体库。”张新说。

张新介绍，目前，唐山三友集团正在和华为等知名科技企业联手打造智能化工厂，建成后，将实现智能化、自动化生产，绿色化管理，达到工业3.0管理水平，后续持续优化和建设，最高可达到工业4.0标准。通过安全环保、生产管控、品质控制、经营管理、仓储物流“五个智能化”，实现工厂全自动运行和黑屏操作，打造智能化工厂标杆。

从打造纯碱、氯碱、化纤“两碱一化”循环经济产业链，到链上产品继续生产出芯片必需的湿电子化学品、电子特气，唐山三友集团海洋化工产业链再添高质量一环。

唐山三友集团向“芯”而行，以新制胜，聚势强链，发展循环经济，利用自身的产品原料的天然优势，生产电子级硫酸、氨水、氯化氢、氢气等高端产品，占领芯片制造领域市场需求的制高点，将持续推动集团基础固“链”、技术补“链”、优化塑“链”、融合强“链”，加快企业向高科技转型，加速产业向中高端迈进。