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孙凤霞:突破深紫外光刻材料 锻造自立自强“中国芯” 2026年04月23日

本报讯(记者李代姣 杨蕾 通讯员薛华)在4月22日召开的2025年度河北省科学技术奖励大会上,“深紫外光刻胶关键材料制备技术与应用”项目荣获河北省技术发明奖一等奖。

光刻是芯片制造的核心环节,而光刻胶则是其中用于精确转移电路图形的感光材料,其分辨率、纯度与性能直接决定了芯片的制程精度和良品率。深紫外光刻材料主要应用于逻辑芯片、存储芯片及运算芯片制造过程。长期以来,我国这类关键材料高度依赖进口。该项目的技术突破,实现了光刻胶从传统化工材料向超净、高纯电子材料的跨越,为我国芯片产业延链、补链起到关键作用。

“材料的自主可控为我国芯片自立自强提供了基础,促进了从材料端到制程端的全产业链创新发展。”项目负责人,河北科技大学教授、河北凯诺中星科技有限公司董事长孙凤霞在接受采访时表示,这一成果对河北电子信息产业也将起到助推和牵引突破的作用。

“此次获奖,令我和团队备受鼓舞。”孙凤霞说,未来,技术团队将继续努力,力争实现芯片制程材料的完全自主可控,助力锻造自立自强的“中国芯”。